Permohonan

Relau penyebaran pengoksidaan adalah peralatan proses utama untuk pengeluaran sel PV. Ia mencampurkan dan meresap jumlah boron, fosforus dan unsur -unsur lain pada wafer silikon pada suhu tinggi untuk menyediakan persimpangan PN dan membentuk litar bersepadu daripadanya. Ia juga boleh digunakan untuk menyediakan filem Siox di permukaan wafer silikon untuk melindungi wafers.Ia adalah biasa untuk menggunakan termokopel yang mengukur kedua -dua bahagian dalam dan luaran relau untuk mengawal suhu dalaman relau penyebaran yang dapat melakukan proses pengoksidaan. Setiap zon suhu yang ditentukan mempunyai termokopel luar dan dalaman untuk memastikan keputusan ukuran boleh dipercayai. Thermocouples kuarza logam multipoint multipoint digunakan untuk mengukur suhu wafer, ia biasanya mempunyai 3 ~ 9 titik ukuran, yang mewakili suhu wafer dengan tepat.

Penerangan Produk

Untuk tujuan ini, Duchin telah membangunkan teknik dan produk proprietari seperti thermocouple kuarza logam multipoint multipoint untuk pengukuran suhu seluruh bahagian dalam relau penyebaran, peranti penentukuran untuk termokopel multi-point.

Produk ini mempunyai beberapa ciri pengukuran suhu yang boleh dipercayai, ketepatan yang tinggi, kestabilan yang baik, tindak balas terma cepat, anti-interferensi, rintangan impak suhu tinggi dan rendah, hayat perkhidmatan yang panjang, dan sebagainya. Parameter teknikal Thermocouple Profil Semikonduktor adalah seperti berikut:

Parameter teknikal	Thermocouple profil semikonduktor
Jenis	S,R
Diameter dawai atau mim	φ0.35~0.5
Tempatan Kerja (ijazah)	0~1100
Ketepatan (ijazah)	±1.0
Panjang tiub pelindung (mm)	Kurang daripada atau sama dengan 4000
Diameter tiub pelindung (mm)	φ12~18
Bahan tiub pelindung	Kuarza
Struktur akhir panas	Terdedah
Bilangan mata	3 ~ 6 mata
Penamatan	Penyambung kecil
Kawat pampasan	Sc {{0}} × 0.5fpf
Ciri -ciri struktur	Untuk memasang T/C dalam kombinasi untuk setiap titik agak sukar