Relau penyebaran yang boleh melaksanakan proses pengoksidaan terdiri daripada bingkai relau, pemanas, peranti kawalan pemanasan, peranti ukuran suhu, tiub relau kuarza, dulang pembawa tarik-tarik, beberapa laluan gas, dan peranti rawatan gas ekzos. Keperluan kawalan suhu seperti ini adalah seperti berikut:

Pemanasan tempahan	Ambient -1100 ijazah	Ketepatan kawalan	± 2 darjah
Kadar pemanasan maksimum	15 darjah /min	Keseragaman temp	± 0. 5 darjah /760mm
Kadar penyejukan max	5 darjah /min	Kestabilan	± 0. 5 darjah /24H

Relau penyebaran pengoksidaan umumnya menggunakan termokopel di dalam dan di luar relau ke kawalan dinamik suhu. Setiap zon suhu dilengkapi dengan satu di dalam dan satu di luar termokopel untuk memastikan kebolehpercayaan kawalan suhu. Thermocouple semikonduktor jenis (amalan biasa menggunakan termokopel multi-titik yang mempunyai tempat yang berbeza untuk merebut maklumat suhu) sering dipilih sebagai termokopel dalam yang digunakan untuk merasakan suhu wafer silikon secara langsung, dan boleh diterjemahkan ke paparan suhu wafer.

Penerangan Produk

Instrumen Duchin membangunkan jenis struktur untuk termokopel multi-titik, peralatan penentukuran termokopel multi-titik untuk eksperimen, sejenis struktur sejuk-junction formulti-titik termokopel, sejenis struktur pembungkusan terminal untuk thermocople composite, daripada penyerapan suhu relau penyebaran. Parameter teknikal jenis Sikonduktor thmocouple semikonduktor khusus untuk peralatan fotovoltaik adalah seperti berikut:

Parameter teknikal	Thermocouple dalaman
Jenis	S,R
Diameter dawai atau mim	φ0.35~0.5
Tempatan Kerja (ijazah)	0~1100
Ketepatan (ijazah)	±1.0
Panjang tiub pelindung (mm)	Kurang daripada atau sama dengan 4000
Diameter tiub pelindung (mm)	φ12~18
Bahan tiub pelindung	Kuarza
Struktur akhir panas	Terdedah
Bilangan mata	3 ~ 6 mata
Penamatan	Penyambung kecil
Kawat pampasan	Sc {{0}} × 0.5fpf
Ciri -ciri struktur	Untuk memasang T/C dalam kombinasi untuk setiap titik agak sukar