Thermocouple bf multipoint utama

Relau penyebaran pengoksidaan adalah peralatan proses utama untuk pengeluaran sel PV. Ia mencampurkan dan meresap jumlah boron, fosforus dan unsur -unsur lain pada wafer silikon pada suhu tinggi untuk menyediakan persimpangan PN dan membentuk litar bersepadu daripadanya.

Penerangan Produk

Adalah biasa untuk menggunakan termokopel yang mengukur kedua -dua bahagian dalam dan luaran relau untuk mengawal suhu dalaman relau penyebaran yang boleh melaksanakan proses pengoksidaan. Setiap zon suhu yang ditentukan mempunyai termokopel luar dan dalaman untuk memastikan keputusan ukuran boleh dipercayai. Thermocouples dalaman digunakan untuk mengukur suhu wafer, ia biasanya mempunyai 3 ~ 9 titik titik, yang mewakili suhu wafer dengan tepat. Thermocouples luar digunakan untuk merasakan permukaan luar tiub relau, masing -masing biasanya hanya mempunyai sepasang wayar, untuk memberikan pengukuran tidak langsung relau. Biasanya, suhu proses pengoksidaan adalah lebih rendah daripada proses penyebaran, oleh itu, thermocouple BF utama K dan N jenis utama boleh digunakan.

Parameter teknikal	Thermocouple bf multipoint utama
Parameter teknikal	Di dalam
Jenis	K,N
Diameter dawai atau mim	φ2~4
Tempatan Kerja (ijazah)	0~950
Ketepatan (ijazah)	± 1.5 atau 0. 4%· t
Panjang tiub pelindung (mm)	Kurang daripada atau sama dengan 4000
Diameter tiub pelindung (mm)	φ14~22
Bahan tiub pelindung	310s atau 321
Struktur akhir panas	Terlindung
Bilangan mata	3 ~ 9 mata
Penamatan	Penyambung kecil
Kawat pampasan	Kx (nx) {{0}} × 0.5fpf
Ciri -ciri struktur	Mudah dibongkar, T/C untuk mana -mana titik boleh dikeluarkan jika diperlukan